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微機電系統
  • 由于磁性傳感技術不會受到灰塵、污垢、油脂、振動以及濕度的影響,因此磁傳感器在工業設備和電子儀器中有著廣泛的應用,如磁共振成像、生產的自動控制、流程工業、煤礦勘探、電流測量、缺陷定位和鐵磁材料剩余應力檢測等方面。為了滿足不同場合的應用,已根據不同傳感原理制備了相應的磁傳感器,常見的有超導量子干涉裝置(SQUID) 、磁通門磁力計、霍爾效應傳感器、各向異性磁阻(AMR)傳感器、微機電系統(MEMS)磁傳感器。
  • 針對MEMS材料、設計、制造、檢測、工藝、裝備與系統集成等關鍵技術,建立MEMS醫療電子研發體系和產業化基地,圍繞醫療電子開發出若干小批量、多品種、高質量MEMS器件及微系統,推動MEMS的可持續發展和未來產業化的形成打下良好的基礎。
  • 微系統:創新研發合作模式 建設良好生態環境,工業和信息化部電子科技委專用裝備組微系統原來是指MEMS(微機電系統),是微電子技術從二維向三維發展。