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首款Oerlikon的8英寸MEMS集群工具來到韓國

作者:美國商業資訊
來源:來源網絡(侵權刪)
日期:2008-08-05 08:48:14
摘要:六月份,韓國的RFID/USN基礎設施服務機構u-IT Cluster Center - 提供MEMS傳感器(USN Fab)和RFID/USN鑄造相關的服務,服務范圍從RFID/USN產品的設計到測試(RFID/USN Engineering Lab) - 簽訂了一份從Oerlikon購買CLUSTERLINE? 200 II制造工具的合同,以助于6英寸和8英寸MEMS的研發和批量生產。
  美國商業資訊2008年7月31日列支敦士登巴札爾消息-
  
  六月份,韓國的RFID/USN基礎設施服務機構u-IT Cluster Center (www.uitc.or.kr) - 提供MEMS傳感器(USN Fab)和RFID/USN鑄造相關的服務,服務范圍從RFID/USN產品的設計到測試(RFID/USN Engineering Lab) - 簽訂了一份從Oerlikon購買CLUSTERLINE? 200 II制造工具的合同,以助于6英寸和8英寸MEMS的研發和批量生產。
  
  借助這個決策,u-ITC正成為東北亞地區下一代晶圓加工開發的領導者之一。CLUSTERLINE?將安裝在韓國松島u-IT Cluster Center的USN Fab。
  
  u-IT Cluster Center總裁Sang-Chul Shin先生說,“我們已經評估了可用的晶圓生產設備,并對Oerlikon留下了深刻的印象”。CLUSTERLINE?得到全球主要MEMS和半導體制造商的一致認可,它具有出色的生產加工能力。不論是對于MEMS,還是UBM、BSM、TFH、IC及其它應用,許多年來,Oerlikon已經展示出了雄厚的技術能力和CoO領導力。
  
  Oerlikon系統部門主管Andreas Dill說,“這種針對高度精密和專業應用的大批量生產平臺,為制造商創造了許多新的機遇。我們很自豪地被選定為合作伙伴。我們已經連續九年獲得VLSI 10最佳獎的殊榮,這證明了我們為客戶成功所作的貢獻。同時,這也是對我們努力為半導體行業提供卓越制造和生產解決方案的另一種重大獎勵”。
  
  世界上主要的半導體制造商都大量安裝了CLUSTERLINE? 200 II。該工具擁有一流的加工能力和靈活性,可以提升系統的額外定制功能。同時,開放式系統架構也允許對PVD、Soft Etch和PECVD輕松地實施工具配置。新一代的CLUSTERLINE?與市場中以前安裝的CLUSTERLINE工具完全兼容,同時能夠通過那些可切實提升整體性能的創新功能來實現可擴展能力。
  
  Oerlikon – 實現高科技
  
  Oerlikon(瑞士證券交易所:OERL)是世界上最成功的高科技工業集團之一,精通于機械和工廠工程。本公司是紡織品制造、薄膜太陽能電池、薄膜涂層、驅動器以及精度和真空系統領域的工業解決方案和創新技術領導者。Oerlikon源于瑞士,悠久的歷史可以追溯到100年以前,全球職工超過19000名,遍布35個國家的170個地方。公司銷售額高達56億瑞士法郎,在全球市場中排名前兩位。2007年,投入的研發資金高達營業額的5%(2.74億瑞士法郎)
  
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  免責聲明:本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便了解之用,煩請參照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。
  
  聯系方式:Oerlikon Balzers Coating Ltd.
  Business Unit Systems
  Sven E. Jarby, Head of Marketing & Communications,
  +423 388 4878
  傳真:+423 388 5426
  sven.jarby@oerlikon.com
  www.oerlikon.com
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  公司通訊處
  Burkhard Boendel, +41 58 360 96 05
  傳真:+41 58 360 91 93
  pr@oerlikon.com
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