10月15日消息，GlobalFoundries200mm晶圓事業部高級副總裁Raj-Kumar近期在上海透露，GlobalFoundries的MEMS晶圓量產能力目前在2000-3000片/月，而隨著技術的改進和工藝裝備的革新，未來2-3年月產能有望增加2倍。

　　Raj-Kumar是在出席全球技術論壇(GTC)時向媒體做上述表示的。

　　他表示相比其他半導體技術，MEMS行業不是那么統一和規范，因此GlobalFoundries的一個目標就是努力推進MEMS的標準化。

　　他同時否認了GlobalFoundries將為MEMS新建生產線的說法，而是改進現有200mm晶圓生產線。“MEMS和200mm晶圓生產線在前端設備方面是一樣的，但在后端需要加上相關專屬設備，因此GlobalFoundries不會再新建生產線。”他表示。

　　微機電系統(MEMS)是半導體市場成場最快的區塊之一，GlobalFoundries在MEMS方面的研發將著重于加速計、陀螺儀及無線電射頻微機電系統。

　　而在10月13日，GlobalFoundries宣布與SVTC技術公司結成戰略聯盟，SVTC將協助GlobalFoundries使用全系列的先進CMOS與MEMS設備，為顧客開發硅晶圓解決方案，同時為GlobalFoundries工程師提供MEMS技術研發支持及培訓。

　　Raj-Kumar同時透露GlobalFoundries希望通過當下的系列措施，到2015年成為大型MEMS晶圓代工廠。