據報道，從劍橋大學孵化出來的創業企業Sorex Sensors基于其突破性傳感技術推出了首款顆粒物傳感器。

這款顆粒物傳感器附帶開發套件，專為空氣凈化系統等設備而設計，甚至可以嵌入智能手機，使每臺智能手機都成為“移動監測站”。此外，它還可以用于原子層沉積設備，以監測沉積速率和量。

多種疾病被證實與糟糕的室內空氣質量有關，尤其是肺部疾病，如哮喘和慢性阻塞性肺病(COPD)等。室內空氣質量受到多種因素的影響，例如，用于清潔或裝飾的化學物質，建筑物供暖和烹飪，建筑和裝修材料，以及吸煙等，這些都會產生影響空氣質量的一氧化碳(CO)和甲醛等揮發性有機物(VOC)。

Sorex開發的傳感器基于薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術。FBAR技術包含由壓電材料制成的諧振薄膜。當有顆粒物(質量)附著在諧振器表面時，會改變諧振頻率，由此提供了傳感區域上顆粒物質量的精確測量。Sorex的FBAR傳感器可全部在硅晶圓上完成制造。

Sorex推出的這款FBAR顆粒物傳感器非常小，像人的頭發絲直徑一樣薄，具有極高的質量靈敏度(飛克級，大約為病毒顆粒的質量)。這使它比現有的傳感器更準確、響應更快，因此甚至可以檢測到痕量的有害化合物。其分立的非特定傳感器能夠檢測亞PM 2.5范圍內的微小顆粒。

“人們越來越意識到顆粒物和VOC的危害，及其與某些癌癥等一系列疾病的關聯。它們幾乎無處不在，例如室內家具、洗護用品和清潔材料等，以及火爐和燃氣灶，但我們看不到也聞不到它們。”Sorex Sensors首席技術官Mario de Miguel Ramos博士說，“Sorex的這款顆粒物傳感器可以幫助控制粉塵，是我們開發用于室內空氣質量監測系列傳感器的第一步。我們的目標是使我們的傳感器能夠像您的眼睛、耳朵和鼻子一樣，在所有危害組分達到有害水平之前及時地監測到它們。”

2018~2023年氣體傳感器市場規模預測

資料來源：《氣體和顆粒物傳感器-2018版》

根據Yole此前發布的《氣體和顆粒物傳感器-2018版》報告，2018年氣體傳感器市場規模為8億美元，2023年將超過10億美元;2017年顆粒物傳感器市場規模為1.5億美元，預計2023年將超過2億美元。Sorex推出的新款傳感器面向各種粉塵控制系統的制造商。在產品開發過程中，傳感器附帶的開發套件可以非常簡便地插入筆記本電腦，以顯示傳感器捕獲的顆粒物數據。