近日，北京京儀自動化裝備技術有限公司經過多年探索，成功研發出國內首臺晶圓自動翻轉倒片機，破解了國產晶圓自動翻轉倒片機自動化難題。

據悉，晶圓倒片機是用來調整集成電路產線上晶圓生產材料序列位置的一款設備，它的任務是將產線上的晶圓通過制程需要進行分批、合并、翻轉后進行下一道程序，這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔凈程度。

目前，京儀裝備研發的首臺晶圓自動翻轉倒片機已經在上海集成電路研發中心得到成功應用。早期型號倒片機則已經在中芯國際、長江存儲等多家企業得到應用。