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國外開發可利用光線進行供電和通信的微型傳感器,支持批量生產

作者:張帥說傳感
來源:傳感器專家網
日期:2020-04-24 09:48:13
摘要:康奈爾大學(Cornell)開發納米級電子產品的研究人員研發出了微型傳感器,配備了集成電路、太陽能電池和發光二極管(LED),能夠利用光線進行供電和通信。

  4月22日消息,據外媒報道,康奈爾大學(Cornell)開發納米級電子產品的研究人員研發出了微型傳感器,這種微型傳感器非常小,可在一個便士一側容納30000個這種微型傳感器。

  這些微型傳感器不僅體積小,還有更多的功能,它們配備了集成電路、太陽能電池和發光二極管(LED),使它們能夠利用光線進行供電和通信。而且,由于它們是批量生產的,在8英寸的晶圓上可容納多達100萬個晶圓,因此每個設備的成本只有同一便士的一小部分。

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  肉眼幾乎看不到這些OWIC的集合。(圖片:康奈爾大學Alejandro Cortese)

  該小組的論文發表在PNAS(“使用光學無線集成電路的微觀傳感器”)中。這項合作由約翰·A·紐曼物理科學教授保羅·麥克尤恩(Paul McEuen)和電氣與計算機工程副教授阿利沙·莫納爾(Alyosha Molnar)領導。他們與論文的主要作者、康奈爾大學(Cornell)院長博士后Alejandro Cortese博士(19歲)合作,設計了一個平行生產光學無線集成電路(OWIC)的平臺——尺寸為100微米(1微米是100萬分之一米)的微型傳感器,僅是人眼的斑點大小。

  康奈爾大學自由基協作計劃的一部分、納米科學與微系統工程(NEXT Nano)工作組的聯合主席McEuen說:“在某種意義上講,構建這樣的微型傳感器是一個古老的想法。但是我們將其尺寸又縮小了一個數量級,并使其可大規模制造。很多時候,當人們制作這些小東西時,他們會手工將它們編織在一起,這樣既費時又費力。”

  在本質上,OWICS是一個像草履蟲大小的“智能手機”,可以專門用于應用程序,但是,研究人員并沒有像手機那樣繁瑣依賴射頻技術,而是將光作為潛在的電源和通信媒介。

  McEuen說,在納米技術領域,將微小的電路放置在硅晶圓上相對容易,但是添加LED是一個特殊的挑戰,因為它們是由不同的材料制成的:砷化鎵。為了將LED轉移到帶有電子元件的晶圓上并進行集成,研究人員開發了一種復雜的組裝方法,該方法涉及超過15層光刻、30種不同材料和100多個步驟。

  一旦OWIC脫離了其硅襯底,它們就可以用于測量難以到達的環境中的電壓和溫度等輸入,例如活體組織和微流體系統內部。比如裝配有神經傳感器的OWIC能夠通過LED閃爍編碼信號來無創地記錄人體中的神經信號并傳輸其發現結果。

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  此圖顯示了一個電壓感應的OWIC,它裝在一分錢背面的林肯紀念堂內,并顯示了OWIC的組件示意圖。(圖片:康奈爾大學Alejandro Cortese)

  作為概念的證明,該團隊與應用與工程物理教授、論文合著者Chris Xu的實驗室合作,成功地將一個帶有溫度傳感器的OWIC嵌入腦組織,并無線傳輸結果。

  McEuen、Molnar和Cortese已經推出了他們自己的公司OWiC Technologies,將微型傳感器商業化,已通過技術許可中心提出專利申請。第一個應用是創建可以附加到產品的電子標簽,以幫助識別它們。這種微型、低成本的OWiC 可能會產生一代又一代的微傳感器,它們在跟蹤更復雜的現象的同時使用更少的功率。

  Cortese說:“本文的電路非常簡單,但是你可以在其中一種設備上安裝數千個晶體管。這意味著你可以擴大設備感知的范圍,設備如何進行通信或完成更復雜任務的能力。我們確實將此平臺開發為一個平臺,因此許多人都有開發新設備、新應用程序的空間。”