歐洲微電子研究中心imec推出了作為生物傳感器的最小硅finFET，翅片寬度13nm，柵極長度50nm，在imec的300mm無塵室采用CMOS兼容工藝流程制造，一旦實現批量生產，并將其集成到高通量、高成本效益的檢測工具中，可實現數以萬計的BioFET并行工作。imec目前已證明的檢測極限為幾十個分子，最終目標是感應單個DNA分子的高精度BioFET。

由于其高集成度和低成本的特點，場效應晶體管(FET)在DNA、蛋白質和病毒檢測以及pH值傳感等生物傳感應用中得到了廣泛的關注。當生物分子與經過化學修飾的柵極電介質表面結合時，其閾值電壓會發生變化，從而產生可測量的信號。盡管該領域的研究不斷取得進展，但BioFET器件尚未將其所有潛力成功轉化為產品。Imec研究了先進的CMOS FET器件，即所謂的具有三維短長度柵極的finFET，以提高BioFET的靈敏度并開辟新的應用。這些finFET在高集成度和并行化方面具有優勢，但人們對其作為BioFET的潛力了解甚少。

imec生物finFET器件長度可短至50納米，已展示了用于DNA雜交和檢測納米級finFET表面上數十個DNA分子的強大能力。根據實驗和仿真，imec預測，低于70 nm的finFET可以實現信噪比(SNR)> 5的單分子檢測。