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德國弗勞恩霍夫研究所搭建MEMS超聲波換能器平臺

作者:本站收錄
來源:MEMS
日期:2021-06-08 09:13:45
摘要:據麥姆斯咨詢報道,為了支持中小型企業的開發和應用,德國弗勞恩霍夫協會旗下三家研究所正在聯合搭建一個MEMS超聲波換能器(MUT)平臺。

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據麥姆斯咨詢報道,為了支持中小型企業的開發和應用,德國弗勞恩霍夫協會旗下三家研究所正在聯合搭建一個MEMS超聲波換能器(MUT)平臺。

這三家研究所將與產業界合作伙伴共同開發各種MEMS超聲波換能器件并試生產。


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該項目由弗勞恩霍夫應用研究促進協會(Fraunhofer Gesellschaft)提供資金,專門面向中小型企業。


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MEMS超聲波換能器陣列


近年來,超聲波換能器已成為很多工業、醫療和移動應用的基礎器件,例如距離測量、微定位、手勢控制、碰撞傳感、內窺鏡檢查和超聲波檢查等。目前,這些專用的超聲波換能器大多由中小型企業自行開發和制造。

如今的MEMS超聲波換能器可以實現高度緊湊的傳感系統,提供更高的靈敏度,還可以利用陣列實現成像或指向等應用。

此外,還可以避免使用對健康和環境有害的材料。不過,開發這些基于半導體的超聲波換能器通常成本很高,這對于許多中小型企業來說往往難以承受。


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用于超聲成像的壓電MEMS超聲波換能器(PMUT)“我們與弗勞恩霍夫硅技術研究所ISIT和弗勞恩霍夫電子納米系統研究所ENAS一起,希望共同搭建一個MEMS超聲波換能器平臺。利用模塊化的方法,我們可以快速高效地適應和開發創新的超聲波系統,以滿足特定的應用。”弗勞恩霍夫光子微系統IPMS研究所的Arg Amelung說,“通過整合三家研究所的能力,我們創建了一個高效的聯盟,不僅可以利用技術組合確保廣泛的應用,還擁有能夠進行試生產的基礎設施。這為學術研究和產業化發展搭建了橋梁,為中小企業提供了一個有吸引力的整體方案?!?/span>

作為MEMS超聲波換能器平臺開發的一部分,將涉及三個核心中小企業研究領域:超聲波換能器制造技術、人機交互技術以及醫療應用技術。

弗勞恩霍夫硅技術研究所ISIT“MEMS應用”業務部門負責人Fabian Lofink博士說:“我們相信,MEMS超聲波換能器的關鍵特性、小型化、靈敏度以及陣列功能,將在這里創造顯著的附加值?!?/p>