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國外研發可改善日常微型設備的新型MEMS氣壓傳感器

作者:Angel
來源:傳感器專家網
日期:2020-02-17 09:37:13
摘要:據外媒報道,賓厄姆頓大學、紐約州立大學的一個機械工程師團隊正在研究一種革命性的微型開關,該技術的研究發現了另一種應用。在找到一種可以更好控制的新型MEMS(微機電系統)后,研究人員利用這些知識來構建可以改善許多日常設備的氣壓傳感器。
關鍵詞:氣壓傳感器

  據外媒報道,賓厄姆頓大學、紐約州立大學的一個機械工程師團隊正在研究一種革命性的微型開關,該技術的研究發現了另一種應用。在找到一種可以更好控制的新型MEMS(微機電系統)后,研究人員利用這些知識來構建可以改善許多日常設備的氣壓傳感器。

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托菲吉安

  賓漢姆頓大學托馬斯·沃森工程與應用科學學院機械工程學副教授、首席研究員沙赫扎德·謝里·托菲吉安:“這與我們過去設計的設備具有相同的機制,但是它的應用有所不同。傳感器的核心仍然由四個電極組成,而傳統的傳感器有兩個電極,這使我們能夠更好地調整系統的屬性。”

  這項研究是由國家科學基金會撥款480958美元資助的。賓厄姆頓大學博士生馬克·帕萊(Mark Pallay)在托菲吉安和她的共同首席研究員、機械工程系著名教授羅納德·N·邁爾斯(Ronald N.Miles)的指導下進行了大量的研究。帕萊畢業后開始在希捷科技公司工作,擔任研發工程師。

  這種MEMS的優勢在于其獨立的設計,該MEMS是一種具有可移動部件的微型器件,其制造方式與電子產品相同。無需計算機即可分析讀數,從而使響應時間更快、更可靠。

  托菲吉安說:“它不僅能感覺到壓力,還能觸發開關。通常,傳感器需要感應壓力,通過軟件對其進行處理,以確定是否滿足了正確的條件,然后觸發開關。這是一個緊湊型壓力傳感器和開關,因此通過向其中一個電極發送電壓,可以使其在不同壓力下工作。”

  與賓厄姆頓大學團隊迄今為止設計的所有MEMS開關一樣,這種新產品可以有多種用途,例如測量大氣壓、在醫院監測早產兒的氧氣或檢測車輛的輪胎壓力。

  托菲吉安說,“有時檢測壓力閾值至關重要, 例如,當您乘坐飛機時,如果氣壓降低到一定量以下,您希望防毒面具掉下來。很容易將偏壓設置為自動觸發。”