6月28日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目（以下簡稱“增芯項目”），在廣州增城開發區舉行投產儀式，中國國內第一條12英寸MEMS量產線正式投產。

據官網介紹，增芯項目由廣州智能傳感器產業集團發起，于2021年4月成立，定位為國內第一家專業定制化12英寸傳感器晶圓廠，針對智能化、微型化等物聯網應用領域中的核心器件（如力學、聲學、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片等），打造集研發、量產制造、封測與應用一體的先進制造平臺，產品包括三大類工藝產品MEMS、BCD及邏輯工藝，對廣州市及廣東省的集成電路產業發展具有重要意義。

對于建設計劃，增芯科技按照“一次規劃、分步實施”原則，計劃用5年時間投資370億元，在廣州市增城區建設兩座智能化晶圓廠，總產能達到12萬片/月。

其中，增芯項目第一座晶圓廠（FAB1）分兩期，第一期產能2萬片/月，總投資70億元；第二期產能4萬片/月，總投資100億元；第二座晶圓廠（FAB2）為第三期，產能6萬片/月，總投資200億元。第一座晶圓廠預計2026年滿產，第二座晶圓廠預計2027年滿產。

2022年12月14日，增芯項目一期第一階段項目正式開工建設，批復投資70億元人民幣，建設月加工2萬片12英寸的MEMS晶圓制造量產線。

6月28日，增芯項目投產活動舉行，中國第一條12英寸MEMS量產線進入生產階段，本次投產的為增芯項目第一座晶圓廠一期。此前相關報道顯示，增芯項目將在2024年實現“3月光刻機進場、6月通線、9月產品下線、12月交付客戶”的階段性目標。

近年來，廣東省正在以智能傳感器、模擬芯片等產品為突破口帶動半導體產業發展，大力推進“強芯工程”建設，增芯項目的快速投產便是其中的縮影。

在傳感器技術朝著微型化、集成化、模塊化、智能化方向演進的當前，MEMS技術已成為一場必然的技術革命。

據Yole最新產業報道的數據顯示，2023年中國大陸僅生產了約9萬片MEMS晶圓，遠遠不足與北美、歐洲、日本等地區110萬、75萬的產量相提并論。而中國卻有著在消費電子、汽車、自動駕駛、人工智能等產業市場下的廣袤的需求。在國內積極推進產線建設的同時，也對本土MEMS企業在全球化市場中的競爭力提出更高要求。