RFID技術作為物聯網的感知層面,是現實世界與虛擬世界進行信息交換與通信的核心之一,能夠實現智能化識別、定位、追蹤、監控和管理等。SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)協議是半導體設備通訊標準,用來統一各個生產設備之間以及生產設備和控制設備之間的通訊,由SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)制定,被廣泛應用于半導體設備和系統的控制和數據傳輸。
RFID的英文全稱為Radio Frequency Identification,即無線射頻標識,這是一種非接觸式的自動識別技術,通過射頻信號自動識別目標對象并獲取相關數據。RFID是一門獨立的將不同的跨學科的專業技術綜合在一起,如高頻技術、微波與天線技術、電磁兼容技術、半導體技術、數據與密碼學、制造技術和應用技術等。